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薄膜的膜厚小于10μm，大多處于小于薄膜電阻1μm;薄膜電阻采用的是真空蒸發(fā)、磁控濺射等工藝方法。薄膜電阻則可以做到0.01%萬分之一精度，0.1%千分之一精度等。薄膜電阻則可以做到非常低的溫度系數(shù)，這樣電阻阻值隨溫度變化非常小，阻值穩(wěn)定可靠。所以薄膜電阻常用于各類儀器儀表，醫(yī)療器械，電源，電力設(shè)備，電子數(shù)碼產(chǎn)品等。